【秋季最新款】半導體乾蝕刻技術破盤
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商品訊息描述: 暢銷商品日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌,提升現場即戰力。
◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。
人氣商品排行榜針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!
非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?
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從乾蝕刻技術的基礎講到應用,讓初學者容易理解與整理;對於已有程度、經驗的工程師而言,讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。
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商品訊息簡述:
作者: 野尻一男
新功能介紹- 譯者: 倪志榮
- 出版社:白象文化
新功能介紹 - 出版日期:2015/03/01
- 語言:繁體中文
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下面附上一則新聞讓大家了解時事
股王領跌台股收漲5.85點 三大法人賣超57.79億 | 股市要聞 | 股市 | 聯合新聞網
台股示意圖。聯合報系資料照 分享 facebook 台股今(27)日開高後呈現震盪整理走勢,股王大立光(3008)領跌,華為概念股續弱,台積電由紅翻黑,拖累大盤指數翻黑,回測10,300點關卡,終場以10,334.13點作收,上漲5.85點,成交量918.84億元;三大法人賣超57.79億元,外資持續賣超,統計已連續賣超14天,合計賣超1,270.84億元。統計三大法人買賣超情況,外資及陸資(不含外資自營商)賣超46.82億元,投信賣超2.11億元,自營商賣超(合計)8.85億元,其中自營商(自行買賣)賣超6.25億元,自營商(避險)賣超2.6億元。. } }); } 台股今日以10,344.18點上漲開暢銷排行網友開箱介紹出,一度拉升到10,365.44點,以金融股及傳產股撐盤,股王大立光走弱,終場收3,690元,跌幅2.25%,台積電由紅翻黑,終場收231元,跌幅0.86%,鴻海則以平盤71.4元作收,指數一度下滑至10,305.28點,搶購限時商品終場收抗漲特價商品小紅,漲幅0.06%,收在10,限量不等人的超人氣產品334.13點。
選前之夜丁守中搶下凱道路權 批柯文哲做了最壞表率
年底大選進入29天倒數,昨日開放11月23日「選前之夜」路權,國民黨台北市長候選人丁守中確定搶下凱達格蘭大道、立法院濟南路及大安森林公園三處路段場地。丁守中今(25)日受訪表示,除了1123選前之夜外,11月11日也將舉辦造勢大會,地點目前確定是在總統府前的凱達格蘭大道。至於,外傳將邀請前第一夫人周美青站台?丁則說,暫時還沒有這樣的安排。
今日是臺灣光復節,國民黨舉行「慶祝抗戰勝利暨台灣光復73週年」活動,由黨主席吳敦義率黨務一級主管、中常委和台北市長候選人丁守中等人到中正紀念堂,向故總統蔣中正獻花致意。
丁守中在活動前受訪被問到選前之夜路權申請一事,他表示,選前最後一個月,將全力衝刺。他透露,將於11月11日與23日舉辦兩場造勢大會,第一場為個人造勢,會邀請市民上台談對台北市政感想,黨內大咖也會到場;第二場則是全台候選人的選前之夜,亮點是六都市長候選人將運用屏幕來合體,展現大團結的氣勢。
對於選前之夜路權是24日凌晨開放申請,台北市長柯文哲原暫定市府前廣場,但系統申請時間竟為23日,遭質疑提前「偷跑」,新工處也駁回該路權申請。丁守中說,為了搶路權,昨晚還派年輕幕僚守在電腦前,能搶就都搶,因為不知道有多少空間被釋放出來,但柯文哲卻自己偷跑、知法犯法,是糟糕市長做了最壞的表率。
另外,外傳將邀前總統馬英九夫人周美青站台,丁守中說,暫時還沒有這樣的安排,那是媒體放話,目前爭取的是中間選民與大家的認同。
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